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檢漏儀如何工作
檢漏儀可以識(shí)別，分析和測(cè)量進(jìn)入或泄漏出封閉空間的氣體或流體。檢漏儀通常內(nèi)置真空系統(tǒng)，既能搜索漏點(diǎn)，又能測(cè)量漏率。
大多數(shù)檢漏儀使用磁扇區(qū)質(zhì)譜，檢測(cè)氦氣。粒子在真空中被電離，并隨著電壓的增加而加速，從而在磁場(chǎng)中將其分離，并將離子轉(zhuǎn)變?yōu)殡娏鳌?/span>
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殘余氣體分析儀(RGA)
殘余氣體分析儀（RGA）的功能不僅僅限于氦氣，它能評(píng)估空間中存在的所有氣體。
RGA的三個(gè)基本組成部分
離子源 -- 離子源用于將空間中的氣體轉(zhuǎn)化為離子。從熱燈絲發(fā)射的電子利用電偏壓加速。快速移動(dòng)的電子與氣體分子碰撞，將氣體電離。
離子過(guò)濾器（四極杠）-- 在給定條件下只有特定的離子能“穿”過(guò)四級(jí)桿到達(dá)探測(cè)器。
檢測(cè)器 -- 穿過(guò)過(guò)濾器的離子與法拉第杯的金屬板碰撞收集。隨著電子轉(zhuǎn)化為電信號(hào)，離子被中和,形成離子的電流。
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3
RGA和檢漏儀：異同
RGA和檢漏儀都利用質(zhì)譜原理。與檢漏儀相比RGA的優(yōu)勢(shì)在于它能檢測(cè)氦氣以外的氣體如丙酮或甲醇等，所以RGA的功能更多 “檢漏”只是RGA的附加功能之一。
RGA沒(méi)有配備獨(dú)立的真空系統(tǒng)，需要設(shè)備的真空系統(tǒng)支持。
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4
RGA何時(shí)有所作為
RGA既可以用于極高真空系統(tǒng)的殘余氣體分析又能作為工藝氣體監(jiān)測(cè)儀實(shí)現(xiàn)工藝控制。
RGA應(yīng)用示例
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