滲碳 Case hardening是使金屬物體表面硬化的過程，同時保持深層部分保持柔軟，從而在金屬表面形成一層硬化層。滲碳淬火處理的物體和穿透式淬火Through hardening相比有更好的耐沖擊、耐磨損性能。
滲碳典型工藝步驟
將真空爐室由大氣壓抽至10-1或10-2 mbar 除氧 . 氮氣保護氛圍下通過對流的方式將工件加熱至 750°C.真空條件下進一步加熱至滲碳溫度 。滲碳階段，開始摻氣，工作壓強10 到 20 mbar，相同溫度和壓強下進行擴散工藝。
低壓/真空滲碳對真空系統的挑戰
使用不同氣體對真空系統的影響不同；
穩定的真空性能
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